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ST表面微机械加工MEMS传感器制造进入量产阶段

日期: 2023-11-28


意法半导体(STMicroelectronics,简称ST),宣布其独有且已通过标准机构认证的THELMA60(用于制造微型陀螺仪和加速度计的60μm厚多晶硅外延层制造工艺)表面微机械加工MEMS传感器制造进入量产阶段。

    过去,半导体厂商是依靠两种不同的制造工艺来大规模生产高精度3D MEMS产品,例如加速度计、陀螺仪、麦克风和压力传感器。业界公认表面微机械加工技术 (Surface Micromachining) 的成本效益更好,而基板微机械加工技术 (Bulk Micromachining) 则能够实现更高的灵敏度和精确度。意法半导体的创新成果集这两种技术的优点于一身,为表面微机械加工MEMS产品带来开创新市场和新应用领域的机会。

    Yole Développement公司总裁兼首席执行官Jean-Christophe Eloy表示:“多家企业曾尝试在表面微机械加工产品上取得基板微机械加工技术的精度和灵敏度,以满足快速增长的物联网、消费电子和移动市场对规模效益的要求,但均以失败告终。而意法半导体利用其新的60?m外延层表面微机械加工制造工艺,以创新的方式有效地解决了这个难题。”

    意法半导体执行副总裁兼模拟器件、MEMS和传感器产品部总经理Benedetto Vigna表示:“意法半导体的THELMA60表面微机械加工技术的问世开启了惯性传感器 (inertial sensors) 的新纪元。正如目前已投产的设计证明,对于灵敏度有极高要求的具有挑战性的应用,例如植入性医疗器械、航空航天用高端传感器 (aerospace systems) 和地震勘探仪器 (seismic exploration) 等曾经被基板微机械加工技术垄断的市场,THELMA60是能够为这此类应用有效提高成本效益的理想解决方案。在我们彻底改变了消费型惯性传感器市场后,将更进一步改变高端传感器的市场规则,这只是一个开始。”
举个例子,在支付宝的后台,由支付宝提供给每个商家Beacon注册管理信息,商家自己管理商品的与Beacon的对应信息,当用户路过该商家门口的时候,自动弹出有针对性的广告信息,此广告信息具有时间和地理的标签,当用户离开此地理范围,或过了一段时间,此广告信息自动消失,对用户零影响,仅仅想想这样的应用场景,都醉了。

同时,由BAT后台统一管理的Beacon,UUID的范围是有限的,也可以避免手机不断的扫描,从而更方便的节省电力。

其实,X-BAT里的X我意指Xiaomi,为什么把小米单列出来呢?(谁叫俺也是米粉)小米不但有着BAT类似的布局,还有定制化的MIUI系统,可以从系统层集成类似三星或谷歌的服务。”